Evaluation of Pinhole Defect Density in TiN Thin Films

نویسندگان

چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Effect of Defect Structure on the Optical Dispersion Properties of Thin Films of TiN*

für Naturforschung in cooperation with the Max Planck Society for the Advancement of Science under a Creative Commons Attribution 4.0 International License. Dieses Werk wurde im Jahr 2013 vom Verlag Zeitschrift für Naturforschung in Zusammenarbeit mit der Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. digitalisiert und unter folgender Lizenz veröffentlicht: Creative Commons Namen...

متن کامل

Antimony-doped Tin(II) Sulfide Thin Films

Thin-film solar cells made from earth-abundant, inexpensive, and non-toxic materials are needed to replace the current technologies whose widespread use is limited by their use of scarce, costly, and toxic elements. Tin monosulfide (SnS) is a promising candidate for making absorber layers in scalable, inexpensive, and non-toxic solar cells. SnS has always been observed to be a p-type semiconduc...

متن کامل

Three-Dimensional Defect Characterization: Focused Ion Beam Tomography Applied to Tin Sulfide Thin Films

Porosity is postulated to be one of the reasons for the low efficiency of tin sulfide-based devices. This work is a preliminary investigation of the effects of two film growth parameters deposition rate and substrate temperature on porosity. We employ the focused ion beam tomography technique to characterize and quantify porosity in tin sulfide thin films. We then generate 3D reconstructions of...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Zairyo-to-Kankyo

سال: 1995

ISSN: 0917-0480,1881-9664

DOI: 10.3323/jcorr1991.44.259